雖然機載LiDAR有比較成熟的商業(yè)系統(tǒng)，但是激光雷達數據的處理系統(tǒng)現今還是相對不成熟的，現在主要使用的軟件除了各個硬件公司提供的軟件，主要使用的是芬蘭Terrasolid。Terrasolid中主要包括TerraModelerTM、TerraScanTM和TerraPhotoTM。TerraScan，它的主要功能是根據點的坐標、光強、同一激光的首末反射值等信息將大量激光掃描測量數據進行分類。
它可以根據標準程序對所有的點進行批處理。另外它還象AutoCAD那樣利用鼠標編輯圖形，從不同角度觀察圖形，TerraScan是該系列軟件的核心TerraModeler軟件是用來生成和處理各種表面模型，可用來計算體積、面積，生成等高線、輪廓線，洪水淹沒計算。TerraPhoto軟件是用來處理原始數碼影像的。將飛機的飛行數據文件(包括飛機位置、姿態(tài)、拍攝時間、影像排列等數據)、影像數據文件及地面數字模型文件輸入系統(tǒng)，必要時將外控數據輸入系統(tǒng)，該軟件將根據這些數據進行全自動空三平差、鑲嵌，形成彩色正射影像圖(DOM)。